無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

無塵室概述

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

控管項(xiàng)目

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預(yù)防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節(jié)能之考量。

⒒照度的的調(diào)節(jié)

無塵室設(shè)備

風(fēng)淋室

風(fēng)淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強(qiáng)的局部?jī)艋O(shè)備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進(jìn)入潔凈區(qū)時(shí)需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。

FFU

FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺(tái)、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級(jí)等應(yīng)用場(chǎng)合。FFU設(shè)有初、高效兩級(jí)過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級(jí)的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級(jí)別，降低噪音和振動(dòng)，也可大大降低造價(jià)，安裝維護(hù)方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

FFU特點(diǎn): 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320，噪聲52~56分貝;2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設(shè)計(jì),安裝,更換高效更方便; 3.風(fēng)機(jī)采用德國(guó)emb直驅(qū)式離心風(fēng)機(jī)或者國(guó)產(chǎn)鋁葉輪離心風(fēng)機(jī),工作時(shí)間長(zhǎng)達(dá)5萬小時(shí)以上; 4.并具有節(jié)能、計(jì)算機(jī)集中控制、運(yùn)行穩(wěn)定、噪聲低、數(shù)字化調(diào)整等特性; 5.FFU采用獨(dú)特的風(fēng)道風(fēng)速均勻，整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S風(fēng)速均勻送出。 6.殼體可選用鏡面不銹鋼、覆鋁鋅板、冷板靜電噴塑制做美觀大方; FFU出廠前均按美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(209E)用激光粒子計(jì)數(shù)器逐臺(tái)掃描檢測(cè)，確保質(zhì)量;FFU適用于10~1000級(jí)無塵車間，便于整體運(yùn)行集中控制; FFU適用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其它對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。以獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)合理的價(jià)格迅速占領(lǐng)市場(chǎng)。 高度低，系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)可節(jié)省氣室空間。輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可符合各廠家的 Grid 系統(tǒng)安裝，更可依 Grid 系統(tǒng)，變更 FFU 結(jié)構(gòu)尺寸設(shè)計(jì)。內(nèi)部裝置擴(kuò)散板.風(fēng)壓擴(kuò)散均勻，出風(fēng)面風(fēng)速平均穩(wěn)定。金屬結(jié)構(gòu)順風(fēng)道內(nèi)膽，永不老化.杜絕二次污染產(chǎn)生，表面光滑，風(fēng)阻低.隔音效果優(yōu)良。特殊入風(fēng)口，風(fēng)道設(shè)計(jì)，降低壓損與噪音的產(chǎn)生。馬達(dá)效率高，系統(tǒng)消耗電流低，節(jié)省能源成本。單相馬達(dá)，提供三段式調(diào)速，可依實(shí)際狀況調(diào)高或降低風(fēng)速與風(fēng)量。 1. 風(fēng)機(jī)采用進(jìn)口高效離心風(fēng)機(jī)，具有長(zhǎng)壽命、低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小、可無級(jí)調(diào)速等特性，風(fēng)機(jī)質(zhì)量可靠，工作壽命長(zhǎng)達(dá)5萬小時(shí)或以上。 2. 特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線，可根據(jù)工藝需要布置為單臺(tái)使用，也可將多臺(tái)串聯(lián)形成100級(jí)流水裝配線。 3. 殼體結(jié)構(gòu)選用不銹鋼、鋁合金、覆鋁鋅板、冷軋鋼板材料制造，重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。 4. 產(chǎn)品出廠前均按美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，METOME塵埃粒子計(jì)數(shù)器逐臺(tái)掃描檢測(cè)，確保質(zhì)量。 溫州升旭凈化工程有限公司專業(yè)承接空氣凈化工程、手術(shù)室凈化、GMP車間凈化、實(shí)驗(yàn)室凈化、無菌室凈化、食品車間凈化、層流手術(shù)室凈化、廠房?jī)艋?、藥品車間等服務(wù)。

無塵室構(gòu)成
 

無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板(Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件:

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子;

C.吸濕性小;

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高;

維護(hù)管理

潔凈技術(shù)在近20年發(fā)展迅速，各種規(guī)模、不同等級(jí)的無塵室在電子、精密機(jī)械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用，為提高產(chǎn)品質(zhì)量、開發(fā)高新產(chǎn)品做出了重要貢獻(xiàn)。無塵室如果設(shè)計(jì)是正確、合理的，施工建造是高質(zhì)量的，但在運(yùn)行維護(hù)管理中不科學(xué)、不嚴(yán)格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中的多項(xiàng)指標(biāo)偏離規(guī)定要求，從而產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至不合格。

無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理，物料進(jìn)入、各類設(shè)備進(jìn)入，以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理，包括潔凈服采購(gòu)和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理，對(duì)于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別。

監(jiān)控?zé)o塵室在使用過程中正常的運(yùn)行和維護(hù)，應(yīng)對(duì)室內(nèi)的運(yùn)行狀況及相關(guān)設(shè)施進(jìn)行定期檢查。如:在規(guī)定的時(shí)間、地點(diǎn)，用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)定時(shí)間、地點(diǎn)測(cè)定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面，在規(guī)定的時(shí)間、地點(diǎn)測(cè)定和核對(duì)連續(xù)測(cè)定記錄;測(cè)量?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風(fēng)速計(jì)檢查局部排風(fēng)裝置的風(fēng)量;使用噪聲測(cè)定儀在規(guī)定的時(shí)間、地點(diǎn)測(cè)定噪聲值;檢查送風(fēng)機(jī)軸承、送風(fēng)機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)、塵埃和污物，以及送、回風(fēng)管道內(nèi)部和送風(fēng)口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內(nèi)是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕;涂敷狀態(tài)、機(jī)械和設(shè)備類有沒有異?，F(xiàn)象等，必須逐個(gè)列表檢查，不能遺漏任何一項(xiàng);使用照度表在規(guī)定的時(shí)間、地點(diǎn)測(cè)定照度值;使用壓差表測(cè)定無塵室內(nèi)外的靜壓差。

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